掃描電鏡工作原理及性能介紹

        掃描電鏡即掃描電子顯微鏡，是目前應用比較廣泛光學儀器，是1965年發明的細胞生物學研究工具，主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表麵形態，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產生各種效應，其中主要是樣品的二次電子發射。下麵請看詳細介紹：

SS-150掃描電鏡

        二次電子能夠產生樣品表麵放大的形貌像，這個像是在樣品被掃描時按時序建立起來的，即使用逐點成像的方法獲得放大像。

掃描電子顯微鏡的製造依據是電子與物質的相互作用。

        掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表麵形貌的觀察。

        當一束極細的高能入射電子轟擊掃描樣品表麵時，被激發的區域將產生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區域產生的電磁輻射。同時可產生電子-空對、晶格振動（聲子)、電子振蕩（等離子體）。

        背散射電子是指被固體樣品原子反射回來的一部分入射電子，其中包括彈性背反射電子和非彈性背反射電子。

        彈性背反射電子是指被樣品中原子核反彈回來的（散射角大於90度）那些入射電子，其能量基本上沒有變化（能量為數千到數萬電子伏）。

        非彈性背反射電子是入射電子和核外電子撞擊後產生非彈性散射，不僅能量變化，而且方向也發生變化。非彈性背反射電子的能量範圍很寬，從數十電子伏到數千電子伏。

        從數量上看，彈性背反射電子遠比非彈性背反射電子所占的份額多。 背反射電子的產生範圍在100nm-1mm深度。背反射電子產額和二次電子產額與原子序束的關係背反射電子束成像分辨率一般為50-200nm（與電子束斑直徑相當）。背反射電子的產額隨原子序數的增加而增加，所以，利用背反射電子作為成像信號不僅能分析形貌特征，也可以用來顯示原子序數襯度，定性進行成分分析。

        掃描電鏡電鏡是由鏡筒、電子信號收集和處理係統、電子信號的顯示和記錄係統、真空係統和電源係統組成，具有放大倍數可調、圖像分辨率高和景深大等特點。目前廣泛應用於科研、學院、動植物學、材料學、考古學、地質礦物學、化學、物理學、食品行業、冶金行業等等。